Fabrication of Spiral Micro Coil Lines for Micro Actuators Using X-ray Lithography and Metallization
Fabrication of Spiral Micro Coil Lines for Micro Actuators Using X-ray Lithography and Metallization
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使用 X 射线光刻和金属化制造用于微执行器的螺旋微线圈线
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and T. Hattori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Setomoto;Y. Matsumoto;D. Noda;and T. Hattori
