T.Yamamoto,M.Ono,M.Ando,N.Goto,N.Ishii and Y.Yasaka: "Electromagnetic field characteristics of radial line slot antennas for surface wave coupled plasma production."IEEE AP-S International Symposium Digest.. Vol.2. 722-725 (2000)
T.Yamamoto,M.Ono,M.Ando,N.Goto,N.Ishii and Y.Yasaka: "Electromagnetic field characteristics of radial line slot antennas for surface wave coupled plasma production."IEEE AP-S International Symposium Digest.. Vol.2. 722-725 (2000)
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T.Yamamoto、M.Ono、M.Ando、N.Goto、N.Ishii 和 Y.Yasaka:“用于表面波耦合等离子体生产的径向线缝隙天线的电磁场特性。”IEEE AP-S 国际研讨会文摘。
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