Characterization of Structure and role of different textures in polycrystalline Si films

Characterization of Structure and role of different textures in polycrystalline Si films
复制标题

多晶硅薄膜中不同织构的结构表征和作用

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
Journal of Non-crystalline Solids 351
影响因子:
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通讯作者:
A.H.Adel
A.H.Adel
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Azadeh Haddad Adel;Takao Inokuma;Yoshihiro Kurata;Seiichi Hasegawa;A.H.Adel;A.H.Adel

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