C-V測定によるAl2O3/p-InP基板界面の電気特性の評価
C-V測定によるAl2O3/p-InP基板界面の電気特性の評価
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通过 C-V 测量评估 Al2O3/p-InP 衬底界面的电性能
DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
清水大雅
中科院分区:
文献类型:
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作者:
漆原義文;新田毅;清水大雅