Energy Control of Backscattered Rare Gas Atoms by VHF-DC Superimposed Magnetron Sputtering (Invited)

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VHF-DC叠加磁控溅射背散射稀有气体原子的能量控制（特邀）

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proc. The 17th Symposium of The Materials Research Society of Japan, International Session, Tokyo, Japan
影响因子：
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通讯作者：
Hideo Sugai
Hideo Sugai
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Hirotaka Toyoda;Hideo Sugai

文献摘要

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