Y.Saito: "Oxynitridation of silicon by remote-plasma excited nitrogen and oxygen" Applied Physics Letters. 68. 800-802 (1996)
Y.Saito: "Oxynitridation of silicon by remote-plasma excited nitrogen and oxygen" Applied Physics Letters. 68. 800-802 (1996)
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Y.Saito：“远程等离子体激发氮和氧对硅的氧氮化”应用物理快报。
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