Fundamentals of Microfabrication
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DOI：
10.1201/9781482274004
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发表时间：
2002-03
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Madou
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Madou
路线图 .- 光刻 .- 图案转移：干法蚀刻、沉积和掺杂 .- 湿法体微机械加工 .- 干法体微机械加工 .- 表面微机械加工 .- LIGA .- 替代微机械加工技术 .- 与微机械设备一起使用的电子产品 .- 粘合和封装 .- 量子结构和分子工程 .- 附录 .-
Road Map .- Lithography .- Pattern Transfer: Dry Etching, Deposition, and Doping .- Wet Bulk Micromachining .- Dry Bulk Micromachining .- Surface Micromachining .- LIGA .- Alternative Micromachining Technologies .- Electronics Used with Micromachined Devices .- Bonding and Packaging .- Quantum Structures and Molecular Engineering .- Appendices.-