RFスパッタ法によるAl-O-N薄膜の作製
RFスパッタ法によるAl-O-N薄膜の作製
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射频溅射法制备Al-O-N薄膜
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
ほか
中科院分区：
文献类型：
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作者：
比護 貴洋、上田 祥平、野瀬 正照;ほか
