SURFACE ROUGHNESS OF DIELECTRIC ELECTRODE AND SECONDARY IONIZATION COEFFICIENT IN LOW PRESSURE CONDITION
SURFACE ROUGHNESS OF DIELECTRIC ELECTRODE AND SECONDARY IONIZATION COEFFICIENT IN LOW PRESSURE CONDITION
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低压条件下介质电极表面粗糙度与二次电离系数
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Itoh
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Suzuki;H. Itoh
