XPSによるSi系材料の電子親和力決定手法の検討
XPSによるSi系材料の電子親和力決定手法の検討
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使用 XPS 检验硅基材料的电子亲和力测定方法
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮崎 誠一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藤村 信幸;大田 晃生;牧原 克典;宮崎 誠一
