Rapid transport of nano-particles in amplitude modulated rf discharges for depositing porous ultra-low-k films
Rapid transport of nano-particles in amplitude modulated rf discharges for depositing porous ultra-low-k films
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用于沉积多孔超低 k 薄膜的调幅射频放电中纳米颗粒的快速传输
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Masaharu Shiratani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shinya Iwashita;Michihito Morita;Kazunori Koga;and Masaharu Shiratani
