Ikuo IHARA: "Approach for Estimating Material Properties of Thin Film on Substrate by Inverse Analysis with Surface Wave Spectroscopy" Trans.Jpn.Soc.Mech.Eng.60-579. 2664-2671 (1994)

Ikuo IHARA: "Approach for Estimating Material Properties of Thin Film on Substrate by Inverse Analysis with Surface Wave Spectroscopy" Trans.Jpn.Soc.Mech.Eng.60-579. 2664-2671 (1994)
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Ikuo IHARA:“通过表面波光谱逆分析估计基板上薄膜材料特性的方法”Trans.Jpn.Soc.Mech.Eng.60-579。

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