Physics Informed Neural Networksを用いたSi結晶成長における熱流体の高速解析
Physics Informed Neural Networksを用いたSi結晶成長における熱流体の高速解析
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使用物理信息神经网络对硅晶体生长过程中的热流体进行高速分析
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岡野泰則
中科院分区：
文献类型：
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作者：
竹原悠人;岡野泰則
