M.Y.Liao, Y.Gotoh: "Crystallographic structure and composition of vanadium nitride films deposited by direct sputtering of a compound target"Journal of Vacuum Science and Technology. A22. 146-150 (2004)
M.Y.Liao, Y.Gotoh: "Crystallographic structure and composition of vanadium nitride films deposited by direct sputtering of a compound target"Journal of Vacuum Science and Technology. A22. 146-150 (2004)
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M.Y.Liao，Y.Gotoh：“复合靶材直接溅射沉积的氮化钒薄膜的晶体结构和成分”真空科学与技术杂志。
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