金属含有アモルファスカーボン薄膜の合成と電気的特性評価
金属含有アモルファスカーボン薄膜の合成と電気的特性評価
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含金属非晶碳薄膜的合成及电性能评价
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大竹尚登
中科院分区：
文献类型：
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作者：
奥山紘章;大竹尚登
