Learning-based compressive sensing method for EUV lithographic source optimization
Learning-based compressive sensing method for EUV lithographic source optimization
复制标题
基于学习的压缩传感方法用于 EUV 光刻源优化
DOI：
10.1364/oe.27.022564
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
3.8
通讯作者：
Ye Tianchun
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Lin Jiaxin;Dong Lisong;Fan Taian;Ma Xu;Wei Yayi;Ye Tianchun
