高品質ダイヤモンドCVD膜の精密加工と膜物性の評価
高品質ダイヤモンドCVD膜の精密加工と膜物性の評価
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高品质金刚石CVD薄膜的精密加工及薄膜性能评价
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
清田英夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
竹下 温;峠 睦;渡邉純二;大久保誠史;清田英夫
