Surface activated wafer bonding of LiNbO3 and SiO2/Si for LNOI on Si
Surface activated wafer bonding of LiNbO3 and SiO2/Si for LNOI on Si
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用于 Si 上 LNOI 的 LiNbO3 和 SiO2/Si 的表面活化晶圆键合
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tanemasa Asano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ryo Takigawa;Eiji Higurashi;Tanemasa Asano
