A Novel method for a production of low electron temperature plasma by a grid cage RF discharge
A Novel method for a production of low electron temperature plasma by a grid cage RF discharge
复制标题
栅笼射频放电产生低电子温度等离子体的新方法
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kohgi Kato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
川本竜彦;三部賢治;黒岩健一;柴田知之;小木曽哲;Kohgi Kato
