S.Kiyohara, K.Ayano, K.Mori: "Micropatterning of Chemical-Vapor-Deposited Diamond Films in Electron Beam Lithography"Jpn.J.Appl.Phys. 39・7B. 4532-4535 (2000)
S.Kiyohara, K.Ayano, K.Mori: "Micropatterning of Chemical-Vapor-Deposited Diamond Films in Electron Beam Lithography"Jpn.J.Appl.Phys. 39・7B. 4532-4535 (2000)
复制标题
S.Kiyohara、K.Ayano、K.Mori：“电子束光刻中的化学气相沉积金刚石膜的微图案化”Jpn.J.Appl.Phys 39・7B 4532-4535 (2000)
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
