Design and fabrication of a microfluid angular rate sensor

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微流体角速率传感器的设计与制作

DOI：
10.1109/memsys.2005.1453942
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发表时间：
2005
期刊：
18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS 2005.
影响因子：
--
通讯作者：
Jie Fan
Jie Fan
中科院分区：
--
文献类型：
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作者：
Jian Zhou;G. Yan;Yong Zhu;Zhiyong Xiao;Jie Fan

文献摘要

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