炭素化水素プラズマによる堆積反応の赤外吸収分光計測
炭素化水素プラズマによる堆積反応の赤外吸収分光計測
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碳酸氢等离子体沉积反应的红外吸收光谱测量
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
篠原 正典，猪原 武士,柳生 義人，大島多美子，川崎 仁晴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Shinohara;T. Tominaga;H. Shimomura;T. Ihara;Y. Yagyu;T. Ohshima;H. Kawasaki;篠原正典，冨永泰佑，下村勇登，猪原武士，柳生義人，大島多美子，川崎仁晴;末永尚己，川田千春，篠原正典，猪原武士，柳生義人，大島多美子，川崎仁晴;冨永泰佑，下村勇登，篠原正典，猪原武士，柳生義人，大島多美子，川崎仁晴;下村勇登，冨永泰佑，篠原正典，猪原武士，柳生義人，大島多美子，川崎仁晴;篠原 正典，猪原 武士,柳生 義人，大島多美子，川崎 仁晴
