A.Dutta, S.P.Lee, Y.Hayafune, S.Oda: "Electron-Beam Direct-Writing using RD2000N for Fabrication of Nano-Devices"Journal of Vacuum Science and Technology. 18(6). 2857-2861 (2000)
A.Dutta, S.P.Lee, Y.Hayafune, S.Oda: "Electron-Beam Direct-Writing using RD2000N for Fabrication of Nano-Devices"Journal of Vacuum Science and Technology. 18(6). 2857-2861 (2000)
复制标题
A.Dutta、S.P.Lee、Y.Hayafune、S.Oda：“使用 RD2000N 的电子束直写技术制造纳米器件”真空科学与技术杂志。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
