基于光学微腔的MOEMS微位移传感器
基于光学微腔的MOEMS微位移传感器
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
严英占
中科院分区：
文献类型：
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作者：
刘正;闫树斌;刘俊;严英占
