フローティング高調波プローブ法によるプラズマパラメータ計測における浮遊容量とプローブポテンシャルの影響
フローティング高調波プローブ法によるプラズマパラメータ計測における浮遊容量とプローブポテンシャルの影響
复制标题
杂散电容和探针电位对浮动谐波探针法等离子体参数测量的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
占部 継一郎
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
鬼頭 聖弥;佐藤 幹夫;江利口 浩二;占部 継一郎
