T.Tanaka,K.Deguchi,S.Miyazaki,and A.Hirose: "Selective Growth of Polycrystalline Silicon by Laserーnduced Cryogenic CVD" Jpn.J.Appl.Phys. 27. L2149-L2151 (1988)
T.Tanaka,K.Deguchi,S.Miyazaki,and A.Hirose: "Selective Growth of Polycrystalline Silicon by Laserーnduced Cryogenic CVD" Jpn.J.Appl.Phys. 27. L2149-L2151 (1988)
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T.Tanaka、K.Deguchi、S.Miyazaki 和 A.Hirose：“通过激光诱导低温 CVD 选择性生长多晶硅”Jpn.J.Appl.Phys 27. L2149-L2151 (1988)
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