Ion energy in plasma doping process
Ion energy in plasma doping process
复制标题
等离子体掺杂过程中的离子能量
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N. Ikenaga
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Sakudo;N. Ikenaga
