Development of a molecular dynamics potential for Si-H systems and its application to CVD reaction process
Development of a molecular dynamics potential for Si-H systems and its application to CVD reaction process
复制标题
Si-H体系分子动力学势的开发及其在CVD反应过程中的应用
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Sakai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Izumi;Y.Sato;S.Hara;S.Sakai
