面に配向したTiN膜のトライボロジー特性評価
面に配向したTiN膜のトライボロジー特性評価
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平面取向TiN薄膜的摩擦学性能评价
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
岩坪聡
中科院分区：
文献类型：
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作者：
加藤大貴;春山義夫;石井淳哉;河村新吾;堀川教世;岩井善郎;岩坪聡
