エネルギー変調したピコ秒パルス列によるSiC結晶内部加工
エネルギー変調したピコ秒パルス列によるSiC結晶内部加工
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使用能量调制皮秒脉冲串对 SiC 晶体进行内部处理
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三浦清貴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
水田朋希;下間靖彦;清水雅弘;三浦清貴
