R. Toda: "Study of Xenon Diflunoride Silicon Etch for Thin Beam Bulk Micromachining" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. (1996)
R. Toda: "Study of Xenon Diflunoride Silicon Etch for Thin Beam Bulk Micromachining" Technical Digest of the 14th Sensor Symposium. (1996)
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R. Toda：“薄束体微加工的二氟化氙硅蚀刻研究”第 14 届传感器研讨会技术文摘。
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