エアロゾルデポジション法による酸化インジュウム薄膜のスズ添加量依存性

エアロゾルデポジション法による酸化インジュウム薄膜のスズ添加量依存性
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气溶胶沉积法氧化铟薄膜中锡添加量的依赖性

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
吉門進三
吉門進三
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
松井大輔;長谷川悠;佐藤祐喜;吉門進三

文献摘要

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