スパッタリングとイオン照射を複合して低温合成したTiNi合金薄膜の形状回復動作

スパッタリングとイオン照射を複合して低温合成したTiNi合金薄膜の形状回復動作
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溅射与离子辐照相结合低温合成TiNi合金薄膜的形状恢复行为

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
岸陽一
岸陽一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Suwarti;Yamazaki;T.;Hanagata;N.;岸陽一

文献摘要

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