水素プラズマ照射されたn型窒化ガリウムの電気特性評価

水素プラズマ照射されたn型窒化ガリウムの電気特性評価
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氢等离子体辐照n型氮化镓电性能评价

DOI:
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发表时间:
2005
期刊:
電子情報通信学会技術研究報告 Vol.105・No.434, 435
影响因子:
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通讯作者:
奥村次徳
奥村次徳
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
須田将之;中村成志;須原理彦;奥村次徳

文献摘要

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