SiリッチSiN導波路の広帯域多波長一括波長変換器への適用可能性の検討
SiリッチSiN導波路の広帯域多波長一括波長変換器への適用可能性の検討
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富硅SiN波导在宽带多波长波长转换器中的适用性研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
三科健
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石原勇輝;丸田章博;三科健
