MEMS用圧電薄膜アクチュエータのマルチスケール有限要素解析
MEMS用圧電薄膜アクチュエータのマルチスケール有限要素解析
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MEMS 压电薄膜执行器的多尺度有限元分析
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
仲町英治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
上辻靖智;黄輝心;高野直樹;仲町英治
