Electrostatic actuator with curved electrodes for time-of-flight scanning force microscopy
Electrostatic actuator with curved electrodes for time-of-flight scanning force microscopy
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用于飞行时间扫描力显微镜的具有弯曲电极的静电致动器
DOI：
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发表时间：
2010
影响因子：
1.6
通讯作者：
Takahito Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chuan-Yu Shao;Yusuke Kawai;Masayoshi Esashi;Takahito Ono
