Mg膜厚度对Mg_2Si半导体薄膜结构及方块电阻的影响
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DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
谢泉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
肖清泉;张宝晖;章竞予;谢泉
