C-V Characteristics of Backside Damage Gettering Introduced by a Cavitating Jet

C-V Characteristics of Backside Damage Gettering Introduced by a Cavitating Jet
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空化射流引起的背面损伤吸杂的 C-V 特性

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Proceedings of 2nd International Symposium on Mechanical Science Based on Nanotechnology
影响因子：
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通讯作者：
M.Koyanagi
M.Koyanagi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
H.Soyama;S.Saito;Dan O.Macodiyo;M.Koyanagi

文献摘要

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