As and Sb diffusion profiles in thin silicon-on-insulator
As and Sb diffusion profiles in thin silicon-on-insulator
复制标题
薄绝缘体上硅中的 As 和 Sb 扩散分布
DOI：
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
E.Arai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Shibata;M.Ichimura;E.Arai
