A non-destructive method for the removal of residual resist in imprinted patterns
A non-destructive method for the removal of residual resist in imprinted patterns
复制标题
一种无损去除压印图案中残留抗蚀剂的方法
DOI：
10.1016/s0167-9317(03)00184-9
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发表时间：
2003
影响因子：
2.3
通讯作者：
S. Thomas
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Chen;D. Macintyre;S. Thomas
