Al_2O_3ゲート絶縁膜を用いたInP/InGaAsチャネルn-MOSFETの電気特性
Al_2O_3ゲート絶縁膜を用いたInP/InGaAsチャネルn-MOSFETの電気特性
复制标题
使用Al_2O_3栅绝缘膜的InP/InGaAs沟道n-MOSFET的电特性
DOI:
--
复制
发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
古屋一仁
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
寺尾良輔;金澤徹;斎藤尚史;若林和也;池田俊介;宮本恭幸;古屋一仁