Formation of germanium shallow junction by flash annealing
Formation of germanium shallow junction by flash annealing
复制标题
通过闪速退火形成锗浅结
DOI：
10.1016/j.nimb.2006.12.191
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发表时间：
2007
影响因子：
1.3
通讯作者：
T. Janssens
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
A. Satta;A. D'Amore;E. Simoen;W. Anwand;W. Skorupa;T. Clarysse;B. V. Daele;T. Janssens
