シミュレーションに基づく積層型静電アクチュエータの特性改善
シミュレーションに基づく積層型静電アクチュエータの特性改善
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基于仿真改进堆叠式静电执行器的特性
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
奥田一雄,掛川真一,伊藤誠,実吉敬二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shinichi Sasaki;Hiroko Tawara;Kiwamu Saito;Eido Shibamura;阿部真;奥田一雄,掛川真一,伊藤誠,実吉敬二
