EMIM-BF4 multi-ion sources of micromachined Si external wetted emitters with fluidic feeding-flow confinement: from microfabrication to Si etching evaluation
EMIM-BF4 multi-ion sources of micromachined Si external wetted emitters with fluidic feeding-flow confinement: from microfabrication to Si etching evaluation
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具有流体供给流限制的微机械硅外部润湿发射器的 EMIM-BF4 多离子源：从微加工到硅蚀刻评估
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroki Kuwano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Le Van Minh;Nguyen Van Chinh;Hiroki Kuwano
