マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置の3次元FDTD法解析
マイクロ波励起表面波プラズマ半導体処理装置の3次元FDTD法解析
复制标题
微波激发表面波等离子体半导体加工设备的 3D FDTD 分析
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
鏡愼
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
畑口雅人;山中祐典;川口秀樹;鏡愼
