Effect of capacitive coupling in a miniature inductively coupled plasma source
Effect of capacitive coupling in a miniature inductively coupled plasma source
复制标题
微型电感耦合等离子体源中电容耦合的影响
DOI：
10.1063/1.4764333
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and K.Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Takao;K.Eriguchi;and K.Ono
