K,Watanabe: "Micro/macrocavity method applied to study of the step coverage formation mechanism of SiO_2 films by LPCVD" Journal of Electrochemical Society. 137. 1222-1227 (1990)
K,Watanabe: "Micro/macrocavity method applied to study of the step coverage formation mechanism of SiO_2 films by LPCVD" Journal of Electrochemical Society. 137. 1222-1227 (1990)
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K，Watanabe：“微/宏观腔方法应用于研究LPCVD SiO_2薄膜的阶梯覆盖形成机制”电化学学会杂志。
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