イオンビームアシスト成膜法によるc軸平行螺旋構造AlN薄膜の形成
イオンビームアシスト成膜法によるc軸平行螺旋構造AlN薄膜の形成
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离子束辅助沉积法形成c轴平行螺旋结构AlN薄膜
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳谷隆彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
鈴木雅視;柳谷隆彦
