A method for exfoliating AlGaN films from sapphire substrates using heated and pressurized water
A method for exfoliating AlGaN films from sapphire substrates using heated and pressurized water
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一种使用加热加压水从蓝宝石衬底上剥离 AlGaN 薄膜的方法
DOI：
10.35848/1882-0786/ac97dc
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发表时间：
2022
影响因子：
2.3
通讯作者：
Iwaya Motoaki
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Matsubara Eri;Hasegawa Ryota;Nishibayashi Toma;Yabutani Ayumu;Yamada Ryoya;Imoto Yoshinori;Kondo Ryosuke;Iwayama Sho;Takeuchi Tetsuya;Kamiyama Satoshi;Shojiki Kanako;Kumagai Shinya;Miyake Hideto;Iwaya Motoaki
